超聲磨削工具的振動是在很高，即超聲頻率為20000Hz,但振幅很小時，車床磨頭以往復運動的方式發生的。這種超聲振動，靠液體里所產生的氣蝕力增強，并導致磨漿里的懸浮磨粒以巨大的沖擊力撞擊工件的表面。這微小的磨粒，在工具的控制下，每秒鐘以數千次的頻率撞擊加工件的表面，產生切削力，切除顯微小碎片，使工件材料所形成的形狀與工具上的形狀對應。加工工具軸向推進而無需橫向移動，逐漸滲入或通過加工件，但實際上從不接觸加工件。