摘要:本發(fā)明涉及一種回收金剛石線鋸切割硅片廢料漿中多晶硅的方法。主要包括以下步驟:將廢料漿進(jìn)行固液分離;在固體物中加入混合酸,反應(yīng)10~12小時(shí)后脫酸,清洗至中性;以純水造漿后用旋流器分離出大部分金剛石,壓濾后得到含量為99%的硅料,再將其分散在重液中,離心分離后用純水反復(fù)清洗;將清洗后的料漿通過(guò)大孔離子交換樹(shù)脂裝置去除離子,干燥得到99.99%的硅粉;硅粉壓制成塊后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠,切除雜質(zhì),得到純度為99.9999%的硅錠。本發(fā)明不同于傳統(tǒng)多晶硅制備及回收技術(shù),工藝簡(jiǎn)單、成本低廉,易于工業(yè)化生產(chǎn)。
申請(qǐng)人: 河南新大新材料股份有限公司
地址: 475000 河南省開(kāi)封市禹王臺(tái)區(qū)開(kāi)封市精細(xì)化工園區(qū)
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 羅小軍 宋賀臣 姜維海 郝玉輝
主分類號(hào): C01B33/037(2006.01)I
分類號(hào): C01B33/037(2006.01)I