一、實驗
　　實驗在行星式硅片研磨機上進行。氧化鋁和鈦酸鋇的顯微硬度值分別為1507.44HV0.1和623.9HV0.1。試件厚度為2mm。研磨轉(zhuǎn)速為80、120、160、200(r/min)，拋光盤直徑為?350mm，行星輪自轉(zhuǎn)速度為120r/min。所用磨料為C W63、GC W28和W1.5金剛石微粉。研磨盤材料分別采用鑄鐵和絨布。磨削壓力為24.5N。在研磨前后，用超聲波清洗機清洗工件并烘干，在萬分之一精度的精密天平上稱出工件研磨重量，由此換算出研磨體積(研磨量)。測量研磨前后工件的表面粗糙度值，在掃描電鏡上觀察其研磨表面形貌。
　　
　　二、實驗結(jié)果與分析
　　
　　1.研磨工藝對磨削效果的影響
　　由圖1可見，對于兩種工件材料，研磨量均隨著研磨時間的延長而呈線性增加。PTC的硬度不及Al2O3硬度的一半，Al2O3的研磨量遠小于PTC的研磨量，即PTC相對于Al2O3陶瓷是易于被切除的。
　　

　　隨著研磨轉(zhuǎn)速的提高，由于工件與磨盤上磨料的相對切削運動次數(shù)增加，研磨量也有所提高，磨料粒度則對研磨量有決定性的影響，磨料越粗，磨料滾動嵌入工件并切削的能力越強，對PTC和Al2O3均在使用C W63、200r/min時，獲得最大切除量。對于硬度高、組織致密的Al2O3材料，磨料壓入工件、滾動破碎切削的能力低，研磨轉(zhuǎn)速和磨料粉粒度對切除量的影響程度，低于PTC。
　　研磨時，磨料隨著磨削過程的沖擊作用，碾壓破碎成細小顆粒，磨削能力下降。不斷加入的磨料則有較好的切削作用，而破碎后的磨料則起到研磨拋光作用，兩者的有機結(jié)合在一定的研磨時間內(nèi)達到平衡。因此，隨著研磨時間的延長，研磨表面粗糙度趨于平穩(wěn)，達到可實現(xiàn)的最佳值(見圖2a)。
　　
　　研磨表面粗糙度主要與工件初始磨削表面質(zhì)量、磨料粒度和磨料性質(zhì)等有關(guān)。大顆粒的磨料會在工件表面產(chǎn)生較深的劃痕，如果磨料不易于被破碎，磨料產(chǎn)生的劃痕，不僅會導(dǎo)致研磨表面粗糙度增大，而且會在研磨表面產(chǎn)生表面微裂紋損傷層，既會影響工件的使用性能，又會導(dǎo)致該工件在研磨過程和后續(xù)加工中產(chǎn)生破損。游離磨料研磨時磨料的切削運動是瞬時不規(guī)則的，工件的受力不均勻和游離磨料的深度嵌入是導(dǎo)致工件易碎的重要原因。
　　研磨材質(zhì)較軟的PTC時，由于磨料劃痕的作用，使表面呈不規(guī)則的脆性斷裂，有時甚至?xí)?dǎo)致研磨后局部表面粗糙度比研磨前的要大，這些斷裂是PTC后續(xù)加工和包裝運輸時破碎的裂紋源。鑄鐵盤的研磨速度對磨削質(zhì)量的影響不明顯(見圖2a)；磨料越細，磨削質(zhì)量越好。Al2O3比PTC組織致密、硬度高，所以研磨表面粗糙度隨磨料粒度變細而下降的程度較小；PTC表面質(zhì)量提高較快，而在實驗條件下最終達到的表面粗糙度低于Al2O3(見圖2b)。
　　從實驗結(jié)果(見圖3)來看，磨盤材料對加工表面粗糙度有明顯的影響。使用絨布時，由于絨布的彈性拋光作用，表面粗糙度明顯低于使用鑄鐵盤。隨著轉(zhuǎn)速的提高，表面粗糙度下降。
　　 　　在采用金剛石磨料研磨時，由于金剛石磨粒嵌入纖維后，難以破碎，導(dǎo)致磨削質(zhì)量下降。
　　2.研磨表面形貌
　　在SEM下觀察一組不同研磨條件下的PTC研磨表面形貌圖得知，采用鑄鐵盤低速研磨時，工件表面的晶粒和晶界十分清晰，同時可見組織結(jié)構(gòu)中的氣孔。工件表面是由磨粒滾壓破碎而成的，表現(xiàn)為明顯的脆性斷裂形貌。部分晶粒產(chǎn)生穿晶斷裂，沒有明顯塑性變形特征。研磨速度對表面形貌即表面粗糙度的影響不明顯。
　　坦面殘留在工件表面的斷裂裂紋使工件強度明顯下降。磨料變細時，表面出現(xiàn)了一些平坦，晶界趨于模糊，即表面質(zhì)量變好。采用絨布研磨時，研磨表面顯現(xiàn)為若干條深淺方向不一的劃痕、氣孔和凹坑，存在不同方向上微切削作用下產(chǎn)生的淺溝槽、溝邊緣隆起及細長切屑現(xiàn)象。由于絨布的彈性拋光和對磨料的把持作用，研磨加工中的塑性切削明顯。隨著磨料變細和研磨速度的提高，塑性流動槽變淺，表面趨于更加平坦。粉屑對填平工件凹坑也有一定作用。
　　實驗條件表明，采用鑄鐵盤難以獲得PTC平坦光滑表面。有時PTC需要后續(xù)涂銀電工序，凹凸晶體結(jié)構(gòu)對于提高涂覆電極效果是十分有效的。研磨效果顯然與工件材料的晶體結(jié)構(gòu)等有關(guān)。氧化鋁的研磨表面也出現(xiàn)凹坑和溝槽組合，但塑性變形不十分明顯。由于PTC的塑性變形比Al2O3強，因此，在實驗條件下最終也易達到較好的表面質(zhì)量。
　　
　　三、結(jié)論
　　
　　1.以提高研磨效率為目的，可采用鑄鐵盤對工件進行研磨。工件研磨表面表現(xiàn)為脆性斷裂。而以提高表面質(zhì)量為目的，應(yīng)采用絨布盤等具有彈性的研磨盤，工件研磨表面表現(xiàn)為塑性溝槽、凹坑和磨平平面。
　　2.隨著研磨轉(zhuǎn)速、磨削時間和磨粒粒度的增大，研磨量提高。磨削質(zhì)量主要受到磨粒粒度的影響。
　　3.為了既提高研磨效率，同時保證表面質(zhì)量，減少游離磨料對工件脆性斷裂破壞，可采用固著磨料彈性研磨具進行研磨。