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我國第三代半導體器件制備及評價技術取得突破

關鍵詞 半導體 , 碳化硅 , 十三五|2018-09-03 09:24:52|來源 科技部
摘要 氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體材料,具備高擊穿電場、高熱導率、高電子飽和速率及抗強輻射能力等優異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在光電...

      氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體材料,具備高擊穿電場、高熱導率、高電子飽和速率及抗強輻射能力等優異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在光電子和微電子領域具有重要的應用價值。
      “十二五”期間,863計劃重點支持了“第三代半導體器件制備及評價技術”項目。近日,科技部高新司在北京組織召開項目驗收會。項目重點圍繞第三代半導體技術中的關鍵材料、關鍵器件以及關鍵工藝進行研究,開發出基于新型基板的第三代半導體器件封裝技術,滿足對應高性能封裝和低成本消費級封裝的需求,研制出高帶寬GaN發光器件及基于發光器件的可見光通信技術,并實現智能家居演示系統的試制;開展第三代半導體封裝和系統可靠性研究,形成相關標準或技術規范;制備出高性能SiC基GaN器件。通過項目的實施,我國在第三代半導體關鍵的SiC和GaN材料、功率器件、高性能封裝以及可見光通訊等領域取得突破,自主發展出相關材料與器件的關鍵技術,有助于支撐我國在節能減排、現代信息工程、現代國防建設上的重大需求。
      “十三五”期間,為進一步推動我國材料領域科技創新和產業化發展,科技部制定了《“十三五”材料領域科技創新專項規劃》,將“戰略先進電子材料”列為發展重點之一,以第三代半導體材料與半導體照明、新型顯示為核心,以大功率激光材料與器件、高端光電子與微電子材料為重點,推動跨界技術整合,搶占先進電子材料技術的制高點

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