中國磨料磨具網(wǎng)訊 1月10日，2019年度國家科學(xué)技術(shù)獎在京揭曉，共評選出296個項目和12名科技專家。其中，國家自然科學(xué)獎授獎項目46項，國家技術(shù)發(fā)明獎授獎項目65項，國家科學(xué)技術(shù)進步獎授獎項目185項。

記者從獲獎名單中了解到，“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備” 項目榮獲2019年度國家技術(shù)發(fā)明二等獎，該項目主要完成人為大連理工大學(xué)的康仁科、董志剛、朱祥龍和有研半導(dǎo)體材料有限公司、鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司、無錫機床股份有限公司等單位。

據(jù)了解，“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”項目主要研究內(nèi)容為磨床結(jié)構(gòu)設(shè)計與分析、金剛石砂輪研制、硅片面型控制系統(tǒng)、硅片高效低損傷超精密磨削工藝等，并研制出國內(nèi)首臺大尺寸硅片雙主軸三工位全自動磨床和大尺寸硅片磨拋一體化機床等設(shè)備。

項目主要完成人，大連理工大學(xué)朱祥龍教授表示，單晶硅片是集成電路最主要的襯底材料，超精密磨削技術(shù)在硅片的平整化和背面減薄加工得到廣泛應(yīng)用。“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”填補國內(nèi)φ300mm硅片超精密磨削技術(shù)和設(shè)備的空白，為硅片高精度、高質(zhì)量和高效率的工業(yè)化生產(chǎn)提供技術(shù)支持。

關(guān)于國家科學(xué)技術(shù)獎

國家科學(xué)技術(shù)獎每年評審一次，根據(jù)最新發(fā)布的《關(guān)于深化科技獎勵制度改革的方案》，規(guī)定“國家三大獎”每年授獎總數(shù)不超過300項。國家科學(xué)技術(shù)獎包括國家自然科學(xué)獎、國家技術(shù)發(fā)明獎、國家科學(xué)技術(shù)進步獎，即大家常說的“國家三大獎”。還包括授予外籍科學(xué)家或外國組織的中華人民共和國國際科學(xué)技術(shù)合作獎，和分量最重的國家最高科學(xué)技術(shù)獎。

其中，國家最高科學(xué)技術(shù)獎是我國科技界最高獎項。2019年國家最高科學(xué)技術(shù)獎分別頒給了中國船舶集團所屬719所名譽所長黃旭華院士、中國科學(xué)院大氣物理研究所曾慶存院士。