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芯片切割用碳化硅微粉實現“中國造”

關鍵詞 碳化硅微粉|2006-05-15 00:00:00|來源 中國磨料磨具網
摘要 這項成果使國內芯片生產用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產業核心競爭力,還將推動我國硅支柱產業高技術化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的...
這項成果使國內芯片生產用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產業核心競爭力,還將推動我國硅支柱產業高技術化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的制備技術”科技成果鑒定會上,鑒定委員會主任、中科院院士陳光教授興奮地說。至此,經過3年攻關.由連云港市研磨廠主持的此科研項目通過省科技廳鑒定,我國硅晶片超精密磨削介質依靠進口的歷史從此改寫。
  
  碳化硅是已知最硬的物質之一,超精細碳化硅微粉被視為高檔磨削介質。我國是世界上最大碳化硅原料產地,但因技術不高,國內硅晶片切割用碳化硅微粉還要靠進口,這嚴重制約了我國IT產業自主創新。
  
  “以前,國外公司將我們產品作為原料,加上成高檔微粉再以近10倍的高價賣回。”廠長朱立起對此深有感觸,“這不僅浪費了珍貴資源,更可怕的是將永遠受制于人。”2003年初,他立志自主研發高檔碳化硅微粉。當時核心技術全被國外壟斷,研磨廠科研能力也不強,朱立起選擇了“合縱”戰略。該企業借助中國磨具磨料磨削研究所的專家力量和實驗平臺,解決了產品標準、檢測手段等難關。從中國第一砂輪廠聘請的專家幫助他們攻克了冶煉工藝難關,并成功對國產設備實施了機電一體化改造。
  
  在攻關過程中,該廠通過國際支持解決了科研資金難題。2003年,中加中小企業應用管理與環保合作項目提供300萬資金幫助研磨廠實施了清潔生產技術革新,為高檔微粉生產創造了決定性條件。
  
  2004年底,研磨廠掌握了高檔碳化硅微粉生產核心技術,并獲得兩項國家專利。
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