摘要:本發明涉及一種帶有拋光功能的研磨盤,適用于光學元件、非晶薄膜襯底等工件表面的研磨與拋光加工。它包括包括底座砂輪和螺旋形擋板,所述螺旋形擋板固定安裝在底座砂輪上,所述底座砂輪的表面粒度隨著螺旋形擋板梯度式變化,越靠近螺旋形中心,底座砂輪的表面粒度越高;所述底座砂輪上沿著螺旋形擋板的內外側均設有廢液流道。本發明結構簡單緊湊,成本較低,自動化程度高,通過螺旋形研磨盤的磨料粒度梯度化設計,可以對工件分別進行從粗磨到精拋的不同程度的加工。
申請人: 浙江工業大學
地址: 310014 浙江省杭州市下城區朝暉六區
發明(設計)人: 金明生 計時鳴 張利 潘燁
主分類號: B24B37/16(2012.01)I
分類號: B24B37/16(2012.01)I