2011年5月26日加利福尼亞州圣何塞和澳大利亞布里斯班消息電/明通新聞專線/--SPP Process Technology Systems(PTS)和澳大利亞格里菲斯大學簽署聯合開發協議，共同開發硅上碳化硅技術。

為期三年的合作協議旨在商業化硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術，為LED、功率器件和MEMS器件增添可行的半導體材料。

面向半導體和相關行業提供等離子刻蝕、沉積和熱處理設備的領先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 與澳大利亞格里菲斯大學今天宣布簽署了一項致力于硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術商業化的聯合開發協議(JDA)。硅上碳化硅襯底在迅速發展的發光二極管(LED)、微電機系統(MEMS)和功率器件市場有廣泛的用途。

碳化硅是生長制造LED所用的GaN薄膜的重要襯底。碳化硅具有更好的抗輻射能力、機械強度和熱特性，因此也成為MEMS器件所使用的硅的替代材料，使之更適合惡劣環境。此外，碳化硅還被用于生產針對大功率、高頻率應用的半導體器件，在這方面碳化硅的電特性顯著優于普通硅。格里菲斯大學昆士蘭微米和納米技術中心(QMNC)下屬的昆士蘭微技術研究所(QMF)開發的新技術已經證明能夠直接在低成本硅晶圓上生長結晶碳化硅。通過這項聯合開發協議，SPTS將負責為這項技術的商業化開發熱處理和設備技術。

硅上碳化硅器件所需的三項關鍵技術是：碳化硅淀積、蝕刻和氧化。QMNC在所有這些領域進行了面向商業化的研究。QMNC的運營總監Alan Iacopi表示：“聯合開發協議有助于把碳化硅淀積工藝技術轉化為器件研究和開發活動，并通過對最大300毫米直徑硅晶圓的成批加工為批量生產提供途徑。SPTS在熱處理上的實力使他們成為有吸引力的合作伙伴。” QMNC項目負責人、副主任Sima Dimitrijev同意這個觀點，他表示：“聯合開發協議是我們碳化硅研究成果商業化的重要一步，特別是與SPTS這樣有著全球影響力的合作伙伴合作。”

SPTS總裁兼首席執行官William Johnson表示：“作為向MEMS、LED和功率器件市場提供固定設備的市場領先者，SPTS始終關注前沿開發機會。我們很高興有機會與格里菲斯大學的優秀研究人員合作，商業化硅上碳化硅技術。為這一合作提供生產技術，幫助開發和提供新材料加工技術，這是我們的一個重要的企業發展戰略。聯合開發協議將進一步增強我們所服務市場的產品組合，將有助于擴大我們的客戶群。”

關于SPP Process Technology Systems

SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收購的Aviza Technology資產合并而成。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全資子公司，面向全球半導體行業和相關市場設計、制造、銷售和支持高級半導體資本設備和工藝技術。這些產品廣泛應用于各類細分市場，包括研發、數據存儲、MEMS與納米技術、先進3D封裝、LED及通信電源集成電路。

關于QMNC 和QMF

昆士蘭微米和納米技術中心(The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre)是格里菲斯大學的一個科學工程研究中心，重點研究開發智能凈化系統所必須解決的微米和納米技術問題。中心擁有材料開發、傳感、微電子工程與微米技術以及凝聚態基本理論專業人才，涉及物理、化學、應用數學和工程等學科。昆士蘭微米技術研究所(The Queensland Microtechnology Facility)隸屬于QMNC，致力于實現硅上碳化硅技術的商業化。它是昆士蘭州政府和澳大利亞國家制造研究所(National Fabrication Facility)出資建立的，擁有大型硅晶圓加工處理能力，支持用于機械和半導體器件的硅上碳化硅材料的開發。