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碳化硅晶片的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)

碳化硅晶片的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)
碳化硅晶片的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)
碳化硅晶片的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)

碳化硅(SiC)材料具有尺寸穩(wěn)定性好、彈性模量大、比剛度大、導(dǎo)熱性能好和耐腐蝕等性能,在現(xiàn)代工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛:在半導(dǎo)體領(lǐng)域,利用其具有禁帶寬度、擊穿場(chǎng)強(qiáng)高和導(dǎo)熱性良好等...

日期 2024-01-25   
碳化硅晶片的超精密拋光工藝

碳化硅晶片的超精密拋光工藝

摘要使用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)方法對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行了超精密拋光試驗(yàn),探究了滴液速率、拋光頭轉(zhuǎn)速、拋光壓力、拋光時(shí)...

日期 2023-05-30   

一種硅晶片拋光液

申請(qǐng)?zhí)?201710461127.7申請(qǐng)日:2017.06.18國家/省市:中國江蘇(32)公開號(hào):107043599A公開日:2017.08.15主分類號(hào):C09G1...

日期 2017-08-24   

金剛石線對(duì)硅晶片鋸切加工中線速度對(duì)表面損傷的影響

金剛石線對(duì)硅晶片鋸切加工中線速度對(duì)表面損傷的影響
金剛石線對(duì)硅晶片鋸切加工中線速度對(duì)表面損傷的影響
金剛石線對(duì)硅晶片鋸切加工中線速度對(duì)表面損傷的影響

摘要:在光伏行業(yè)利用金剛石線對(duì)硅晶片進(jìn)行鋸切的工藝還有待進(jìn)一步發(fā)展完善。該技術(shù)切割速率高,水冷卻液成本低,因而整體成本較低,應(yīng)用前景可觀;但還有待于和現(xiàn)有的工藝生產(chǎn)鏈特...

日期 2017-06-05   

一種碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機(jī)及其操作方法

申請(qǐng)?zhí)?201410750011.1申請(qǐng)日:2014.12.10國家/省市:中國江蘇(32)&

日期 2015-05-11   

比黃金貴十倍 天科合達(dá)碳化硅晶片產(chǎn)量全球第三

外觀像透明玻璃,厚薄似一張紙,大小如一次性紙杯杯底——日前,記者在蘇州天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司看到了該公司的產(chǎn)品:一片2英寸大的“碳化硅晶片”??蓜e小看這片圓圓的“小...

日期 2010-04-14   

碳化硅晶片國產(chǎn)化,指日可待

近日,天科合達(dá)藍(lán)光控股主公司的G天富已經(jīng)開始進(jìn)入第三代半導(dǎo)體材料碳化硅晶片產(chǎn)業(yè),成為全球碳化硅晶片的主要供應(yīng)商。該公司碳化硅項(xiàng)目已于今年8月已經(jīng)開工建設(shè),預(yù)計(jì)明年4月建...

日期 2006-09-13   

物理所合作建立國內(nèi)首條碳化硅晶片中試生產(chǎn)線

中科院物理研究所與北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司經(jīng)過8個(gè)月的努力,合作研發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第二代碳化硅晶體生長(zhǎng)爐,進(jìn)一步優(yōu)化了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生長(zhǎng)工藝...

日期 2007-07-17   

我國首條碳化硅晶片試生產(chǎn)線建立

中科院物理研究所與北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司經(jīng)過8個(gè)月的努力,合作研發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第二代碳化硅晶體生長(zhǎng)爐,進(jìn)一步優(yōu)化了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生長(zhǎng)工藝...

日期 2008-01-28   

天富熱電子公司初具批量生產(chǎn)導(dǎo)電型碳化硅晶片能力

天富熱電子公司天科合達(dá)初步具備批量生產(chǎn)2英寸6H/4H導(dǎo)電型碳化硅晶片的能力,截至目前,該產(chǎn)品還未有大批量的商業(yè)訂單銷售。此外,天科合達(dá)已開發(fā)非摻雜半絕緣碳化硅晶體生長(zhǎng)...

日期 2009-02-23   
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第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)暨2023金剛石產(chǎn)業(yè)大會(huì)

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2023年9月20日,時(shí)隔四年,期待已久的第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)在鄭州國際會(huì)展中心隆重開幕。本次展覽會(huì)由中國機(jī)械工業(yè)集團(tuán)有限公司、國機(jī)精工股份有限公司、中國機(jī)械國際合作股份有限公司聯(lián)合主辦。旨在推動(dòng)中國磨料磨具行業(yè)的快速發(fā)展,加強(qiáng)國內(nèi)外企業(yè)的交流與合作。

中國人造金剛石誕生60周年

中國人造金剛石誕生60周年

1963年,我國成功研制出第一顆人造金剛石,經(jīng)過幾代人的拼搏奮斗,實(shí)現(xiàn)了從無到有、從小到大、從弱到強(qiáng)的華麗蝶變。人造金剛石及其制品在我國航空航天、國防軍工、機(jī)床機(jī)械等領(lǐng)域發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。不僅如此,隨著金剛石技術(shù)的選代,金剛石民用領(lǐng)域—培育鉆石迎來了自己的大爆發(fā),中國占據(jù)了世界培育鉆石產(chǎn)量的80%以上,近幾年在國際上產(chǎn)生了巨大影響力。

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